脉冲电子束沉积（PED）的特点
与CW技术相比，例如传统的电子束蒸发，脉冲系统的主要特点是可以在靶材表面上
产生最高达108W/cm2的高能量密度。因此，靶材的热动力学特性比如熔点和比热等
在蒸发过程中就变得不重要了。这一点对复杂的、多组分材料特别具有优势。与脉
冲激光沉积（PLD）相比，脉冲电子束沉积（PED）技术提供了独一无二的平台，在
一系列具有重要技术价值的基片上沉积复杂材料的薄膜，其独特的优点在于扩展了
材料的范围和应用。这种方法在大批量生产中可以大规模应用且成本低廉
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一、 PED-120系统的技术指标
l PEBS-20脉冲电子源和电源
l 真空腔：直径12"
Ø 额定基压：<1x10-6 Torr
l 基片加热器，直径2"，带控温器
Ø 氧气可达大气压力
Ø 最高温度：950 °C
Ø 温度均匀性：±5 °C
Ø 温度稳定性：±1 °C
Ø 基片加热器档板
l 靶盒，手动控制
Ø 可放置6个1"的靶或3个2"的靶
Ø 靶与法兰的距离：4"
l 气路
Ø 质量流量计控制进入真空腔的流量，量程100sccm
Ø 控制采用单通道设置/数值显示
l 真空泵系统
Ø 260 l/s 带冷阱的涡轮分子泵，高真空泵
Ø 4 m3/hr无油机械泵
Ø 8"闸板阀，手动控制
Ø 排气/出气阀，用于氧气的安全操作
l 真空计，显示读数
Ø 冷阴极型
Ø 对流型
l 系统框架
Ø 占地面积：22”W x 34”D
Ø 空间： 30”W x 34”D
Ø 总高度： 54"-58"
Ø 标准19"电子元件安装架
Ø 脚轮和水平调节器
l 电源
Ø 110-240 VAC/50 Hz, 20 A，单相
二、PEBS-20脉冲电子源系统的技术指标
组成：
l PEBS-20脉冲电子源
l 电源
l 电子控制系统
l 预装软件的控制计算机
技术指标：
电压：115-230 VAC, 50/60 Hz, 单相
氧气压力：5-20 mTorr
电子能量：8-20 kV
单次脉冲能量：0.1 – 0.8 J
脉冲能量偏差（Max）：±10%
能量转换效率：25-30%
脉冲持续时间：~100 ns
脉冲重复速率（Max）：15 Hz
电子束斑面积（Min）：6 x 10-2 cm2
电子束斑面积偏差（Max）：±20%
脉冲能量密度（Max）：1.3 x 108 W/ cm2
Z轴移动距离：50 mm
XY轴移动距离：±20 mm
工作寿命：107 次脉冲
PEBS源的工作温度（Max）：85 °C
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