高分辨率
色差校正的光学系统，能观察到明亮的、高对比度的深紫外线影像
采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了可见光线2倍以上的分辨率。即使是深紫外线领域，也能进行248±4 nm的宽范围波长色差校正。能有效利用照明光源，获得鲜明的深紫外线观察影像，适用于观察低反射率的铜接线等标本。也可以在检查更微细的半导体图纹面和磁头滑动面的缝隙时，检查电极时，以及在缩微平版印刷技术中使用这个显微镜系统。
不使用粘合的全新DUV物镜
DUV物镜 |
DUV物镜采用了本公司独有的"无粘合透镜"设计制造技术。新开发的DUV物镜不使用粘合材料，高精度地组装了18组18片的透镜。即使是长时间的深紫外线照射，DUV物镜也能维持优异的性能。 |
高扩展性
分离式深紫外灯箱，提高了产品组合的灵活性。
深紫外线观察单元 |
把作为热源的灯箱从深紫外线镜筒分离，使之成为独立的光源单元。使用UV光引导把照明光线从光源单元导向镜筒，这样一来，在设置显微镜时其布局就容易了许多。此外，光源单元前面的操作旋钮，可以无级调光，能调节出适合样品的最佳亮度。石英纤维的使用实现了均一的DUV光照明。 |
实时成像
高分辨率的DUV数码照相机由软件控制，可高速获取数据。计算机上获取的图像可快速存档和分析，以便存入数据库和生成报告。
高经济性
小型紧凑、低成本
DUV镜筒构造简单，没有操作部分。照明部分可以拆卸，与传统的专用设备相比，重量减少了约1/2，实现了小型、轻便化。此外，成本也约压缩为原来的一半。
采用超长寿命的水银氙灯
光源盒 |
在深紫外线照明上采用了照明时间平均为1000小时的超长寿命水银氙灯。减少了照明灯的更换，降低了运行成本。 |
将深紫外线观察装置搭载于显微镜上，就可以组成深紫外线观察显微镜。有关对应的显微镜规格，请参阅各显微镜的具体规格说明。
深紫外线观察装置
| U-UVF规格 |
| UV248鏡筒 U-UVF248IM |
DUV光学系统 |
使用波长 |
248±4nm |
| 光源 |
80W Mercury Xenon Lamp |
| 物镜 |
Dedicated DUV100x Objective Lens: N.A. 0.9, WD 0.2mm |
| 中间倍率 |
2.5x |
| 视场数 |
12.5
(Actual Field of View: 50µm) |
| 适用温度环境 |
23±5°C |
| 可见光线光学系统 |
物镜 |
UIS Objective Lens |
| 中间倍率 |
1x |
| 视场数 |
22
(20 for Camera Observation) |
| UV428光源盒 U-UVF248LB |
亮度调节
快门 |
0到100%手动无级调节
上下滑动式切换拨杆 |
| UV光导U-UVF2FB/5FB |
长度2 m或5 m |
| 水银氙灯盒U-LH80HGXE |
使用80 W水银氙灯 |
| 电源装置 |
USHIO制造（100 V～120 V） |
对应显微镜一览
> MX61A: 可以综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号
> MX61L/ MX61: 可以对应300 mm/ 200 mm 晶圆的电动型号
> MX51: 可以对应150 mm晶圆的手动型号