考虑了检查效率的设计
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
内置离合器的载物台手柄 |
MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。 |
快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器示意图 |
电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。 |
鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
多种选择可实现卓越的成像性能
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。
软件方案
使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可根据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
帮助实现多种观察方法的附件
近红外线观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
透射照明单元
透射照明单元 |
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
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| 工业检测显微镜 MX51 规格 |
| 光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正） |
| 机身 |
观察方法 |
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
| 反射/透射 |
反射/透射 |
| 照明装置 |
明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光） |
| 通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光） |
| 照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
| 透射照明 |
纤维光导 |
| 对焦单元 |
电动/手动 |
手动 |
| 行程 |
32 mm |
| 分辨率/微调灵敏度 |
微调旋钮转动1周移动0.1 mm |
| 最大样本高度 |
30 mm |
| 物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔 |
| 明暗视场微分干涉5孔 |
| 明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
| 明暗视场微分干涉6孔 |
| 手动式 |
明视场5孔 |
| 明视场微分干涉6孔 |
| 明视场微分干涉中心输出6孔 |
| 明视场微分干涉7孔 |
| 明暗视场5孔 |
| 明暗视场微分干涉5孔 |
| 明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
| 明暗视场微分干涉6孔 |
| 载物台 |
行程 |
6×6英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm （透射照明范围100×100 mm） |
4×4英寸右下（左下）手柄：
100（X）×105（Y）mm （透射照明范围96×96 mm） |
| 观察筒 |
广角视场（视场数22） |
倒置 |
双目/三目观察筒 |
| 正像 |
三目观察筒 |
| 超宽视场（视场数26.5） |
倒置 |
三目观察筒 |
| 正像 |
倾斜三目观察筒 |
| 附件单元 |
DUV单元/IR单元/自动装载 |
| 外形尺寸 |
430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合） |
| 重量 |
26 kg（标准组合） |