人机工程学设计，操作方便
- 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
- 分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
坚固、可靠和安全传送
- 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
- 薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
- 宏观观察位置的最优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
专用宏观照明装置
专用宏观照明装置 |
为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。 |
| 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 |
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AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
| 晶圆尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm |
| 卡盒 |
●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹
●SEMI：E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB |
●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒
●SEMI：M31-0999规格产品 |
| 卡盒数 |
单盒（装载、卸载兼用） |
| 卡盒设置高度 |
900 mm |
| 装载端口 |
有 |
无 |
| 搬运顺序 |
表面宏、内面宏、显微镜检查 |
| 检查模式 |
全部检查、抽样检查 |
| 晶圆校准 |
非接触式中心环 |
| 晶圆搬运方式 |
真空吸附机械搬运 |
| 适用显微镜 |
半导体检查显微镜MX61L |
| 应用环境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa |
| 载物台 |
XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 |
| 重量（不包括显微镜） |
约360 kg |
约270 kg |