高度可靠性
适应范围广、搭配灵活
对应多种尺寸组合
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
晶圆尺寸•厚度对应表
薄片检查
对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
高度实用性
进一步优化的宏观检查
背面宏观360゜旋转 |
- 宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。
- 利用360゜旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察。
|
操作便捷
- 为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
- 晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
- AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。
高度可靠性
优先考虑晶圆和操作者的安全
- 为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
- 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
人机工程学设计的载物台
- 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
- 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
| 晶圆搬送机 AL120 规格 |
| |
200 mm专用型 |
200 mm/150 mm 兼用型 |
150 mm型 |
AL120-
LMB8-
90 |
AL120-
LMB86-
180 |
AL120-
L86-
180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6-
150 |
AL120-
L6-
150 |
| 晶圆尺寸（SEMI规格） |
200mm |
200mm / 150mm |
150mm /
125mm /
100mm |
| 晶圆最小厚度 |
90µm |
180µm |
400µm |
150µm |
| 片盒类型* |
SEMI规格：25（26）个slot |
| 片盒数 |
1 |
| 检查模式 |
全部检查／抽样检查 |
| 搬运顺序 |
微观检查（显微镜检查） |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
| 表面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 背面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 二次背面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 晶圆定位（每 90º） |
非接触（定位平边／V型槽） |
非接触（定位平边） |
| 适配显微镜型号 |
奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61 |
| 尺寸（mm） |
主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
| 重量（kg）（仅主机部分） |
44 |
44 |
41 |
44 |
41 |
40 |
37 |
| 使用环境（电源／真空） |
AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 |
* 最多可登记10种片盒