KSV-2000 I型结构包括:
主机
膜天平
能够均匀压缩的水槽
KSV2000II型结构包括:
主机
膜天平
膜沉积系统
带有浸渍井的能够均匀压缩的水槽
KSV-2000 III型结构包括:
主机
交替镀膜系统
带有浸渍井的能够均匀压缩的水槽
KSV-2000 I型:
膜天平测量范围: 0 - 250 mN/m
膜天平分辨率: 4 μN/m
有效槽表面积: 530 mm X 150 mm
亚相体积: 0.75升
亚相温度范围: 0 - 60℃
滑障压缩速度: 0.01 mm - 800 mm/min
KSV-2000 II型:
沉积速度: 0.1 - 85 mm/min或 0.2 - 170 mm/min
速度调节: 0.1 mm/min
沉积次数: 无限次
延迟时间: 1 - 9999秒,可调
浸渍马达: 直流伺服电机
亚相体积: 0.95升
最大基片尺寸: 100 mm X 100 mm
浸渍井尺寸: 37(W)X 116 (L) X 93 (D)mm3
沉积行程: 145 mm
(其它指标与KSV-2000 I型相同)
KSV-2000 III型:
槽表面积: 775 mm X120 mm,两个
亚相体积: 5.5升
运行电压: 90 - 264 V, 50/60 Hz
(其它指标与KSV-2000 I型和KSV-2000 II型相同)