Jobin YvonGD-Profiler 系列辉光放电光谱仪
GD-Profiler系列辉光放电光谱仪
——超快元素深度分布分析工具
● RF射频发生器- 标准配置,可进行元素总量分析,分析时间约
为90秒,分析速度比其他表面分析技术快上100倍;溅射率一般
为3µm/min;
● 实现从1nm至深达150µm的元素深度分布分析;
● 射频辉光放电光谱的灵敏度为10 原子/cm ;
● 一次激发可以同时分析所有元素(包括H, O, Cl等) ;
● 脉冲射频设计的光源为导体、非导体、薄膜、涂层、合金、陶瓷、
粉末等类型的物质提供了广阔的分析应用前景;
● 多道(同时)型光学系统可全谱覆盖,光谱范围:110nm至800nm,包含远紫外;
● 低至0.3L/分钟的氩气消耗降低了分析成本;
● 独有的单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性,即能实现n+1通道分析;
● 专利HDD 检测器可进行快速而高灵敏的检测,动态范围达到10个量级;
● 宽大的样品室方便各类样品的加载;
● 激光指点器(CenterLite laser pointer,专利申请中)可用于精确加载样品。
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