1. 电子产品：PCB板、柔性电路板、平板显示器、感光树脂的剥离
2. 医药方面：生物材料表面处理、杀菌、组织培养等
3. 工业方面：高分子膜表面改性、终端安装清洗等
主要特点
1. 专利化能量分布设计，美国专利号：4,887,005 / 5,190,803 / 5,228,963 / 5,48,560 / 5,733,511
2. 采用微处理器控制
3. 适合各种等离子体的处理，如清洗、表面改性和刻蚀等
4. 气体流速精确控制和混合
5. 射频自动匹配功能
6. 高密封的真空系统
主要型号：
1. 间歇式系统：PJ、PS-350/500
2. 客户专用型系统：PS-750/2020/ 3030
3. 大批量系统和滚筒式系统
技术参数：
| 型号 |
PJ
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电源要求
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115/220V, 15A
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射频功率
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300W，13.56MHz
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射频匹配
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自动匹配
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控制方式
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基于WindowTM的PC控制
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仪器尺寸
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60×60×30cm，35 Kg
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样品室
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20cm直径，25cm长
耐高温玻璃，可选择石英
电容耦联，一个气体供应
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气体供应
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包括一个流速控制器
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可选附件
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氧气供应
水蒸气过滤器
真空计
真空阀
真空泵
流速控制器MFC等
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型号
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PS350
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PS500
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PS750
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射频功率
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600W，13.56MHz
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600W，13.56MHz
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600W，13.56MHz
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仪器外观（cm）
(H×W×D)
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183×63×61
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203×63×89
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203×114×63
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样品室（cm）（H-W-D）
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42×34×50
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53×37×68
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165×38×41
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