能谱仪是一种用来对材料微区成分元素种类与含量分析的仪器，配合扫描电子显微镜使用。主要工作原理是根据各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

 能谱仪主要应用于高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；对固体材料的表面涂层、镀层进行分析； 金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域。 millipore rios

        在最近的北京分析测试学术展览会上，牛津仪器推出了一款新型能谱仪——X-Max大面积能谱探头，这引起了参会用户者的浓厚兴趣。