考虑了检查效率的设计
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换
[3] 孔径光阑调节
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在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。 |
观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
倾斜镜筒示意图 |
为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。 |
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
内置离合器的载物台手柄 |
对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。 |
鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
多种选择可实现卓越的成像性能
物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
软件方案
实现数字成像
MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
支持缺陷检测的多种功能
快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器示意图 |
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。 |
变换物镜，孔径光阑（AS）也随之调节
AS自动调节示意图 |
每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（AS）的话，会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。 |
帮助实现多种观察的附件
安全快速的搬运晶圆
自动晶圆搬送机AL110（200 mm规格）组合 |
MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。 |
近红外线观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
透射照明单元
透射照明单元 |
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。 |
| MX61 |
| 光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正） |
| 机身 |
观察方法 |
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
| 反射/透射 |
反射/透射 |
| 照明装置 |
机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） |
| 照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
| 透射照明 |
纤维光导 |
| 对焦单元 |
电动/手动 |
手动 |
| 行程 |
32 mm |
| 分辨率/微调灵敏度 |
微调旋钮转动1周移动0.1 mm |
| 最大样本高度 |
30 mm |
| 物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔 |
| 明暗视场微分干涉5孔 |
| 明暗视场微分干涉6孔 |
| 明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
| 手动式 |
- |
| 载物台 |
行程 |
14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm） |
8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm |
| 观察筒 |
广角视场
（视场数22） |
倒置 |
双目/三目观察筒 |
| 正像 |
三目观察筒 |
超宽视场
（视场数26.5） |
倒置 |
三目观察筒 |
| 正像 |
倾斜三目观察筒 |
| 附件单元 |
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 |
| 外形尺寸 |
710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合） |
509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合） |
| 重量 |
51 kg（标准组合） |
40 kg（标准组合） |