Hitachi日立 SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜
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SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜
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| 产品介绍： |
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SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜
为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。
特点：
1. 100nA的大探针电流
新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
预留了多种接口，可以安装以下附件进行
分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察
| 二次电子图象分辨率 |
| 1.0nm(15KV.WD=4.0mm) |
| 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式) |
| 2.5nm(1KV.WD=1.5mm) |
| 放大倍数 |
| 低放大倍数模式 20-2,000x |
| 高放大倍数模式 100-800,000x |
| 电子光学 |
| 电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪 |
| 电流 1pA-100nA |
| 加速电压 0.5-30KV(标准模式) |
| 着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式) |
| 透镜系统 3级电磁线圈系统 |
| 物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调 |
| 样品台 |
| 样品台控制 5轴马达控制 |
| 移动范围 |
| X 0-110mm |
| Y 0-110mm |
| z 1.5-40mm |
| T -5O-+700 |
| R 360O |
| 样品尺寸 直径150mm(标准) |
| (最大) 直径200mm(可选) |
| 探测器 |
| 二次电子探测器 |
| 背散射电子探测器(可选) |
| STEM探测器(可选) |
| 法拉第杯(可选) |
| X射线能谱仪(可选) |
| X射线波谱仪(可选) |
| EBSP探测器(可选) |
| 阴极荧光探测器(可选) |
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