Hitachi日立 S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜
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S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜
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| 产品介绍： |
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S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜
研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜
● 最大可载样品直径达300mm
● 最大观察区域直径达203mm
● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
● 样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
● 5轴优中心马达台可以倾斜-20o~+90o
● 采用节能，清洁的涡轮分子泵
S-3700N技术参数
| 分辨率 |
SE 3.0nm，30KV(高真空模式)
10nm， 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm，30KV（低真空模式） |
| 放大倍率 |
x5~x300，000 |
| 加速电压 |
0.3~30KV |
| 低真空范围 |
6~270Pa |
| 图像电位移 |
±50μm （工作距离 10mm） |
| 最大装载样品 |
直径300mm |
样品台
| X |
150mm |
| Y |
110mm |
| Z |
5~65mm |
| R |
360° |
| T |
-20°~90° |
| 观测区域 |
203mm直径 |
| 样品最大高 |
110mm（工作距离10mm） |
| 样品台类型 |
优中心马达台 |
电子光学系统
| 灯丝 |
预对中灯丝 |
| 物镜光阑 |
4孔活动光阑4孔活动光阑 |
| 枪偏压 |
固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 |
| 探测器 |
二次电子探头
5分割半导体式被散射探头 |
| 分析位置 |
工作距离10mm，取出角35° |
显示控制系统
| 控制模式 |
键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 |
| 显示器 |
液晶显示器 |
| 辅助功能 |
3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能 |
| 存储图像精度 |
640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840 |
| 图片格式 |
BMP, TIFF, JPEG |
| 图像显示模式 |
全屏模式：1280 x 960
标准模式：640 x 480
分割模式：640 x 480 点 x 2
信号混合模式 |
真空系统
| 控制模式 |
全自动 |
| 分子 |
210升/秒，一台 |
| 机械泵 |
135升/分，一台 |
| 保护措施 |
断电保护、漏气保护 |
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