HD-2700带有球差校正的场发射扫描透射电子显微镜

    电镜球差校正技术的实用化，使得同时进行超高分辨率观察和超高灵敏度分析成为可能。日立高新技术公司与CEOS公司共同的努力，成功地开发出了新一代扫描透射电子显微镜(STEM)。
    HD-2700通过球差校正，用大会聚角获得了亚纳米级电子束，在分辨率和分析性能获得重大的进步。
    HD-2700共有三种型号，分别是配有球差校正的高分辨型和标准型，以及无球差校正型，可根据应用需求选择。

特点：
1. 高分辨观察
*利用金颗粒保证0.144nm分辨率DFSTEM像（标准型）
2.增加了探针电流(约为非校正的STEM探针电流的10倍)，可以进行高速、高灵敏度能谱分析
*可以在更短的时间内获得元素的面分布图
*检测微量元素成为可能
3.简化的操作
*提供了专用的GUI自动调节球差校正器
4.整体的解决方案
*样品杆与日立FIB兼容，提供了纳米尺度的整体解决方案：从制样到数据获得和最终分析
5.多种评价/分析功能可选
*同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得)
*实时衍射(DF-STEM像和衍射像可以同时观察)
*低剂量功能可以减少由电子束造成的样品破坏/污染
*可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)
*精确的放大倍率校准功能

技术指标：